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TGA-327 HF 高精度痕量氣體分析儀

  • TGA-327 HF 高精度痕量氣體分析儀

  • 高精度痕量氣體分析儀（TGA-327）是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測量氟化氫(HF)而設(shè)計(jì)的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測下限可達(dá)ppt級別。不需要現(xiàn)場校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測量。

  • 產(chǎn)品名稱：TGA-327 HF 高精度痕量氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔：
簡單介紹：
高精度痕量氣體分析儀（TGA-327）是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)空氣分子污染分析（AMC）測量氟化氫(HF)而設(shè)計(jì)的專業(yè)儀器，采用光腔衰蕩光譜技術(shù)（CRDS），具有很高的靈敏度，其檢測下限可達(dá)ppt級別。不需要現(xiàn)場校準(zhǔn)，非常適合連續(xù)測量。
  • 產(chǎn)品概述
  • 技術(shù)參數(shù)
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